Thông số kỹ thuật chính của hệ thống xử lý wafer Robot khí quyển RR75L15

Cánh tay / Lưỡi

Gấp đôi

Chiều dài cánh tay [mm]

156

Hành trình trục Z [mm]

340/410/430

Tối đa vị trí chuyển [mm]

R766 cho wafer 300mm

Thúi. phạm vi [độ]

330

Độ chính xác chuyển [mm]

± 0,1

Sạch sẽ theo tiêu chuẩn ISO

1

Bán kính quay

R282,5 đến R335 Thay đổi theo phần cổ tay và chiều dài ngón tay.

Đặc tả bộ mã hóa

Tuyệt đối

Kích thước sản phẩm (Thông số kỹ thuật tiêu chuẩn)

Tính năng sản phẩm

RR757 là một robot SCARA và tất cả các trục đều có động cơ bước với bộ mã hóa tuyệt đối. Nội suy đồng bộ của trục cánh tay và trục xoay cho phép truy cập 2 cổng mà không cần theo dõi trục X. Các tấm trao đổi tay đôi trong khoảng thời gian ngắn nhất để cải thiện thông lượng chuyển. Theo dõi trục X của robot có thể được thêm vào bên ngoài để thực hiện điều khiển đồng thời từ phía robot bao gồm các vị trí giảng dạy.

Động cơ servo bước với bộ mã hóa ABS được gắn trên tất cả các trục.

Truy cập 2 cổng mà không có theo dõi trục X có sẵn.

Tay nặng hơn có thể được trang bị bằng cách tăng độ cứng của cánh tay.

Thông lượng cao bởi đặc điểm kỹ thuật hai cánh tay.

Kiểm soát theo dõi trục X của robot có sẵn.