Hệ thống xử lý wafer Robot khí quyển RR759L27
.png)
Giá
- Xuất xứ
- Bảo hành
- Hình thức thanh toán
- Điều khoản giao hàng
- Điều khoản đóng gói
Thông số kỹ thuật chính của hệ thống xử lý wafer Robot khí quyển RR759L27
-
Cánh tay / Lưỡi
-
Gấp đôi
-
Chiều dài cánh tay [mm]
-
270
-
Hành trình trục Z [mm]
-
190/420/550
-
Tối đa vị trí chuyển [mm]
-
R962 Cho wafer 300mm
-
Thúi. phạm vi [độ]
-
420
-
Độ chính xác chuyển [mm]
-
± 0,1
-
Sạch sẽ theo tiêu chuẩn ISO
-
1
-
Bán kính quay
-
R320 Thay đổi theo phần cổ tay và chiều dài ngón tay.
-
Đặc tả bộ mã hóa
-
Tuyệt đối
Kích thước sản phẩm (Thông số kỹ thuật tiêu chuẩn)
Tính năng sản phẩm
RR759 là một robot cánh tay boomerang và tất cả các trục đều có động cơ bước với bộ mã hóa tuyệt đối. Nội suy đồng bộ của trục cánh tay và trục xoay cho phép truy cập 2 cổng mà không cần theo dõi trục X. Các tấm trao đổi tay đôi trong khoảng thời gian ngắn nhất để cải thiện thông lượng chuyển. Theo dõi trục X của robot có thể được thêm vào bên ngoài để thực hiện điều khiển đồng thời từ phía robot bao gồm các vị trí giảng dạy. Truy cập vào tất cả các hướng mà không có góc chết quay được cho phép.
-
Động cơ servo bước với bộ mã hóa ABS được gắn trên tất cả các trục.
-
Truy cập 2 cổng mà không có theo dõi trục X có sẵn.
-
Tay nặng hơn có thể được trang bị bằng cách tăng độ cứng của cánh tay.
-
Kiểm soát theo dõi trục X của robot có sẵn.
-
Truy cập vào tất cả các hướng mà không có góc chết quay được cho phép.
-
Chuyển tiếp dài có sẵn.