Tính năng của hệ thống xử lý wafer cổng tải

Model RZ204 được đặt ở cạnh cổng tải 300 mm, nhận FOUP từ OHT và chuyển nó đến / từ cổng tải.

Thời gian chờ cho OHT có thể được rút ngắn và tốc độ hoạt động của một hệ thống được cải thiện bằng cách cung cấp bộ đệm FOUP cho hệ thống.

RZ204 có thể được cài đặt ở bên cạnh cổng tải hiện có và không cần thay đổi dòng OHT của cơ sở.

Thông số kỹ thuật chính của sản phẩm

Cung cấp năng lượng

100V AC ± 10%, 5A

Không khí nén

0,6MPa đến 0,7MPa, 10L / phút

Kích thước sản phẩm

Tùy chọn

Bảng thông tin phát hiện cảm biến / Khóa chốt

Đầu đọc mã vạch RF-ID / Bar