Tính năng của hệ thống xử lý Wafer Aligner RA420-48V-L

RA420-48V-L là bộ căn chỉnh có độ chính xác cao, có trục X và trục Y cho trục and và có cơ chế trục Z để bù vị trí wafer.

Thông lượng được cải thiện.

Độ chính xác cao (Độ chính xác notch: ± 0,05 °, Độ chính xác trung tâm: ± 0,05 mm).

Xử lý các tấm kính trong suốt và laminate.

Thông số kỹ thuật chính của sản phẩm

Kích thước wafer

Dia. 100mm đến 200mm

Độ chính xác góc notch

± 0,05 đến ± 0,1 ° Thay đổi theo chế độ căn chỉnh.

Trung tâm chính xác

± 0,05 đến ± 0,1mm Thay đổi theo chế độ căn chỉnh.

Khoảng thời gian định vị

2.5 đến 6.5 giây Thay đổi theo chế độ căn chỉnh.

Cung cấp năng lượng

24 V DC 4A

Phương thức giao tiếp

TCP / IP RS-232C cũng có sẵn dưới dạng tùy chọn

Kích thước sản phẩm (Thông số kỹ thuật tiêu chuẩn)